Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31237
Title: Система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники
Other Titles: The movement system for optical mechanical equipment of microelectronics
Authors: Агранович, А. А.
Аваков, С. М.
Жарский, В. В.
Keywords: доклады БГУИР;пространственная система перемещений;система управления;компьютерное моделирование
Issue Date: 2007
Publisher: БГУИР
Citation: Агранович, А. А. Система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники / А. А. Агранович, С. М. Аваков, В. В. Жарский // Доклады БГУИР. - 2007. - № 4 (20). - С. 131 - 135.
Abstract: При производстве элементной базы электронных интегрированных устройств необходимо использовать генераторы формирования планарных структур, таких как установка, производимая концерном ПЛАНАР ЭМ-5109. Для расширения функциональных возможностей генераторов с учетом современных требований по защите информации возникает потребность в использовании новых исполнительных систем пространственного позиционирования объекта обработки, в качестве которых наиболее перспективными являются системы перемещений на трех планарных позиционерах. В работе рассмотрена структура многокоординатной системы перемещений для нужного позиционирования объекта, представлена структура системы управления.
Alternative abstract: The production of microelectronics devices requires usage of planar structures generators, such as apparatus EM-5109 produced by concern PLANAR. For the purposes of functional abilities extension the need of new travel systems of spatial positioning rises, the most perspective are travel systems on three planar positioners. The structure of spatial system for object positioning is described in the work, the structure of control system is described as well.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31237
Appears in Collections:№4 (20)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Ahranovich_The.pdf454.74 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.