| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Агранович, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Аваков, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Жарский, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-04-27T10:57:19Z | - |
| dc.date.available | 2018-04-27T10:57:19Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Агранович, А. А. Система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники / А. А. Агранович, С. М. Аваков, В. В. Жарский // Доклады БГУИР. - 2007. - № 4 (20). - С. 131 - 135. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31237 | - |
| dc.description.abstract | При производстве элементной базы электронных интегрированных устройств необходимо
использовать генераторы формирования планарных структур, таких как установка,
производимая концерном ПЛАНАР ЭМ-5109. Для расширения функциональных
возможностей генераторов с учетом современных требований по защите информации
возникает потребность в использовании новых исполнительных систем пространственного
позиционирования объекта обработки, в качестве которых наиболее перспективными
являются системы перемещений на трех планарных позиционерах. В работе рассмотрена
структура многокоординатной системы перемещений для нужного позиционирования
объекта, представлена структура системы управления. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | пространственная система перемещений | ru_RU |
| dc.subject | система управления | ru_RU |
| dc.subject | компьютерное моделирование | ru_RU |
| dc.title | Система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники | ru_RU |
| dc.title.alternative | The movement system for optical mechanical equipment of microelectronics | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| local.description.annotation | The production of microelectronics devices requires usage of planar structures generators,
such as apparatus EM-5109 produced by concern PLANAR. For the purposes of functional abilities
extension the need of new travel systems of spatial positioning rises, the most perspective are travel
systems on three planar positioners. The structure of spatial system for object positioning is described
in the work, the structure of control system is described as well. | - |
| Appears in Collections: | №4 (20)
|
