https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31613| Title: | Получение и свойства наноструктурных металлоксидных пленок на основе анодированных композиций Al/Ti |
| Other Titles: | The formation and properties of nanostructured metal-oxide films based on the anodized Al/Ti compositions |
| Authors: | Плиговка, А. Н. Мозалев, А. М. |
| Keywords: | доклады БГУИР;электрохимическое анодирование;анодный оксид алюминия;оксид титана;наноструктурные металлоксиды;газовые микросенсоры |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Плиговка, А. Н. Получение и свойства наноструктурных металлоксидных пленок на основе анодированных композиций Al/Ti / А. Н. Плиговка, А. М. Мозалев // Доклады БГУИР. - 2008. - № 8 (38). - С. 50 - 57. |
| Abstract: | Двухслойную тонкопленочную композицию Al/Ti формировали последовательным магнетронным напылением слоев Ti (40нм) и Al (400нм) на стеклянные пластины. Наноструктурированные металлоксидные пленки получали анодированием системы в трех различных электролитах при напряжениях 195, 80 и 25 В. Наночастицы металлов, остающиеся на границе раздела пленка/подложка, пробовали окислять с помощью высоковольтного реанодирования и термообработки. С помощью электронной микроскопии и электрических измерений установлено, что для образцов, полученных при 80 и 25 В частицы Al и Ti могут быть полностью оксидированы, а для образцов, полученных при 195 В алюминий остается в виде наноразмерной сетки с контролируемым сопротивлением. Полученные пленки могут применяться в качестве диэлектрических темплатов, микрорезисторов и оптических покрытий. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31613 |
| Appears in Collections: | №8 (38) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Plihauka_The.PDF | 617.86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.