https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31613| Title: | Получение и свойства наноструктурных металлоксидных пленок на основе анодированных композиций Al/Ti |
| Other Titles: | The formation and properties of nanostructured metal-oxide films based on the anodized Al/Ti compositions |
| Authors: | Плиговка, А. Н. Мозалев, А. М. |
| Keywords: | доклады БГУИР;электрохимическое анодирование;анодный оксид алюминия;оксид титана;наноструктурные металлоксиды;газовые микросенсоры |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Плиговка, А. Н. Получение и свойства наноструктурных металлоксидных пленок на основе анодированных композиций Al/Ti = The formation and properties of nanostructured metal-oxide films based on the anodized Al/Ti compositions / А. Н. Плиговка, А. М. Мозалев // Доклады БГУИР. – 2008. – № 8 (38). – С. 50–57. |
| Abstract: | Двухслойную тонкопленочную композицию Al/Ti формировали последовательным магнетронным напылением слоев Ti (40нм) и Al (400нм) на стеклянные пластины. Наноструктурированные металлоксидные пленки получали анодированием системы в трех различных электролитах при напряжениях 195, 80 и 25 В. Наночастицы металлов, остающиеся на границе раздела пленка/подложка, пробовали окислять с помощью высоковольтного реанодирования и термообработки. С помощью электронной микроскопии и электрических измерений установлено, что для образцов, полученных при 80 и 25 В частицы Al и Ti могут быть полностью оксидированы, а для образцов, полученных при 195 В алюминий остается в виде наноразмерной сетки с контролируемым сопротивлением. Полученные пленки могут применяться в качестве диэлектрических темплатов, микрорезисторов и оптических покрытий. |
| Alternative abstract: | Al/Ti bilayer specimens were formed by a sequential magnetron sputtering of Ti(40nm) and Al(400nm) layers onto glass substrates. Nanostructured metal-oxide films were grown by anodizing the metal bilayers in three different electrolytes at 195, 80, and 25 V. A high-voltage reanodizing followed by annealing was tried to oxidize Al and Ti nanoparticles remaining at the film/substrate interface. Electron microscopy and resistivity measurements have shown that the metallic nanoparticles can be fully oxidized in the 80-V and 25-V specimens while they always remain in the 195-V specimen as a self-organized nanosized grid with controlled resistivity. Potential applications of these films are as nanoporous dielectric templates, microresistors, and optical coatings. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31613 |
| Appears in Collections: | №8 (38) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Plihauka_The.PDF | 617.86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.