Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33920
Title: Низкотемпературная плазма магнетронного разряда
Other Titles: Low-temperature plasma magnetron discharge
Authors: Невлюдов, И. Ш.
Гурин, Д. В.
Гурин, В. Н.
Хрусталев, К. Л.
Nevliudov, I. Sh.
Gurin, D. V.
Gurin, V. N.
Khrustalev, K. L.
Keywords: доклады БГУИР
магнетронная камера
масс-спектрометрия
азотная плазма
распыление
аргоновая плазма
magnetron chamber
mass spectrometry
nitrogen plasma
atomization
argon plasma
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Низкотемпературная плазма магнетронного разряда / И. Ш. Невлюдов и др. // Доклады БГУИР. - 2018. - № 8 (118). - С. 93 - 100.
Abstract: В статье исследуется низкотемпературная плазма магнетронного разряда устройства, используемого для синтеза диэлектрических пленок реактивным катодным распылением [1]. Целью исследования является определение температурных характеристик частиц плазмы и распыленного вещества, а также механизма образования химической связи между распыленными атомами и молекулами активного газа. Исследование состава и энергетических параметров плазмы, а также химический состав полученных при распылении частиц вещества, проведен спектроскопическим методом. Количественный состав определялся масс-спектрометром для определения состава распыленных частиц. The article investigates a low-temperature plasma of the magnetron discharge of a device used for the synthesis of dielectric films by reactive cathode sputtering. The aim of the study is to determine the temperature characteristics of plasma particles and a sputtered substance, as well as the mechanism for the formation of a chemical bond between sputtered atoms and active gas molecules. A study of the composition and energy parameters of the plasma, as well as the chemical composition of the particles obtained by sputtering, was carried out by a spectroscopic method. The quantitative composition was determined by a mass spectrometer to determine the composition of the sputtered particles.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33920
Appears in Collections:№8 (118)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Nevlyudov_Nizkotemperaturnaya.PDF1,65 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.