https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33920| Title: | Низкотемпературная плазма магнетронного разряда |
| Other Titles: | Low-temperature plasma magnetron discharge |
| Authors: | Невлюдов, И. Ш. Гурин, Д. В. Гурин, В. Н. Хрусталев, К. Л. |
| Keywords: | доклады БГУИР;магнетронная камера;масс-спектрометрия;азотная плазма;распыление;аргоновая плазма;magnetron chamber;mass spectrometry;nitrogen plasma;atomization;argon plasma |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Низкотемпературная плазма магнетронного разряда / И. Ш. Невлюдов и др. // Доклады БГУИР. - 2018. - № 8 (118). - С. 93 - 100. |
| Abstract: | В статье исследуется низкотемпературная плазма магнетронного разряда устройства, используемого для синтеза диэлектрических пленок реактивным катодным распылением [1]. Целью исследования является определение температурных характеристик частиц плазмы и распыленного вещества, а также механизма образования химической связи между распыленными атомами и молекулами активного газа. Исследование состава и энергетических параметров плазмы, а также химический состав полученных при распылении частиц вещества, проведен спектроскопическим методом. Количественный состав определялся масс-спектрометром для определения состава распыленных частиц. |
| Alternative abstract: | The article investigates a low-temperature plasma of the magnetron discharge of a device used for the synthesis of dielectric films by reactive cathode sputtering. The aim of the study is to determine the temperature characteristics of plasma particles and a sputtered substance, as well as the mechanism for the formation of a chemical bond between sputtered atoms and active gas molecules. A study of the composition and energy parameters of the plasma, as well as the chemical composition of the particles obtained by sputtering, was carried out by a spectroscopic method. The quantitative composition was determined by a mass spectrometer to determine the composition of the sputtered particles. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33920 |
| Appears in Collections: | №8 (118) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Nevlyudov_Nizkotemperaturnaya.PDF | 1.65 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.