Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33924
Title: Режимы быстрой термообработки системы Рt-Si для формирования силицида платины
Other Titles: Rapid thermal treatment modes of the Рt-Si system for formation of platinum silicide
Authors: Солодуха, В. А.
Пилипенко, В. А.
Горушко, В. А.
Solodukha, V. A.
Pilipenko, V. A.
Gorushko, V. A.
Keywords: доклады БГУИР
интегральная микросхема
быстрая термообработка
силицид платины
термические напряжения
intergrated circuit
rapid thermal treatment
platinum silicide
thermal stresses
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Солодуха, В. А. Режимы быстрой термообработки системы Рt-Si для формирования силицида платины / В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко // Доклады БГУИР. - 2018. - № 8 (118). - С. 88 - 92.
Abstract: Проведена оценка допустимой неравномерности облучения и разброса температуры по площади пластины при быстрой термической обработке, не вызывающих в ней возникновения термических напряжений, приводящих к пластическому течению или разрушению кремния. Показано, что формирование силицида платины при Т ≤ 810 °С не вызывает отрицательных явлений в кремнии и его необходимо проводить в среде азота, напуск которого в герметичную камеру осуществляется после создания в ней вакуума 10–2 мм рт. ст. Assessment is performed of the permissible nonuniformity of irradiation and temperature scatter as per the wafer area during the rapid thermal treatment, not causing the thermal stresses in it, resultant in the plastic melting or silicon disruption. It was shown, that formation of platinum silicide at Т ≤ 810 °С does not cause the negative phenomena in silicon, and it should be performed in the nitrogen environment, whose flooding into the the sealed chamber is done after creation in it of vacuum of 10–2 mm, mercury column.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33924
Appears in Collections:№8 (118)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Rezhimy.PDF794,76 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.