https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33924| Title: | Режимы быстрой термообработки системы Рt-Si для формирования силицида платины |
| Other Titles: | Rapid thermal treatment modes of the Рt-Si system for formation of platinum silicide |
| Authors: | Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко, В. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;интегральная микросхема;быстрая термообработка;силицид платины;термические напряжения;intergrated circuit;rapid thermal treatment;platinum silicide;thermal stresses |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Солодуха, В. А. Режимы быстрой термообработки системы Рt-Si для формирования силицида платины / В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко // Доклады БГУИР. - 2018. - № 8 (118). - С. 88 - 92. |
| Abstract: | Проведена оценка допустимой неравномерности облучения и разброса температуры по площади пластины при быстрой термической обработке, не вызывающих в ней возникновения термических напряжений, приводящих к пластическому течению или разрушению кремния. Показано, что формирование силицида платины при Т ≤ 810 °С не вызывает отрицательных явлений в кремнии и его необходимо проводить в среде азота, напуск которого в герметичную камеру осуществляется после создания в ней вакуума 10–2 мм рт. ст. |
| Alternative abstract: | Assessment is performed of the permissible nonuniformity of irradiation and temperature scatter as per the wafer area during the rapid thermal treatment, not causing the thermal stresses in it, resultant in the plastic melting or silicon disruption. It was shown, that formation of platinum silicide at Т ≤ 810 °С does not cause the negative phenomena in silicon, and it should be performed in the nitrogen environment, whose flooding into the the sealed chamber is done after creation in it of vacuum of 10–2 mm, mercury column. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33924 |
| Appears in Collections: | №8 (118) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Solodukha_Rezhimy.PDF | 794.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.