Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34308
Title: Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум : пособие
Authors: Телеш, Е. В.
Соловьев, Я. А.
Keywords: публикации ученых
технологические модули
программно-управляемое оборудование
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Телеш, Е. В. Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум : пособие / Е. В. Телеш, Я. А. Соловьев. – Минск : БГУИР, 2019. – 75 с. : ил.
Abstract: Включает лабораторные работы по изучению различных преобразователей для измерения давления в вакуумных системах, современного оборудования для быстрого термического отжига, технологических модулей и устройств для нанесения тонких пленок в вакууме и ионного травления, торцевого холловского ускорителя для модификации поверхности полимеров. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний студентов по учебной дисциплине «Программно-управляемое технологическое оборудование», получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским оборудованием.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34308
ISBN: 978-958-543-442-0
Appears in Collections:Кафедра электронной техники и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Telesh_2019.pdf4,15 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.