Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум : пособие

Abstract

Включает лабораторные работы по изучению различных преобразователей для измерения давления в вакуумных системах, современного оборудования для быстрого термического отжига, технологических модулей и устройств для нанесения тонких пленок в вакууме и ионного травления, торцевого холловского ускорителя для модификации поверхности полимеров. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний студентов по учебной дисциплине «Программно-управляемое технологическое оборудование», получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским оборудованием.