Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34448
Title: Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии
Authors: Кукуть, Ю. М.
Keywords: материалы конференций
субмикронные элементы топологии
бесшаблонная лазерная литография
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Кукуть, Ю. М. Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии / Ю. М. Кукуть // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 153.
Abstract: Разработан метод получения субмикронных элементов топологии в технологии бесшаблонной лазерной литографии. Метод основан на правилах модификации топологического слоя.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34448
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kukut_Metod.PDF735,42 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.