Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34448
| Title: | Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии |
| Authors: | Кукуть, Ю. М. |
| Keywords: | материалы конференций;субмикронные элементы топологии;бесшаблонная лазерная литография |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Кукуть, Ю. М. Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии / Ю. М. Кукуть // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 153. |
| Abstract: | Разработан метод получения субмикронных элементов топологии в технологии бесшаблонной лазерной литографии. Метод основан на правилах модификации топологического слоя. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34448 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
