| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кукуть, Ю. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-13T11:17:26Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-13T11:17:26Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Кукуть, Ю. М. Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии / Ю. М. Кукуть // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 153. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34448 | - |
| dc.description.abstract | Разработан метод получения субмикронных элементов топологии в технологии бесшаблонной лазерной литографии. Метод основан на правилах модификации топологического слоя. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | субмикронные элементы топологии | ru_RU |
| dc.subject | бесшаблонная лазерная литография | ru_RU |
| dc.title | Метод получения субмикронных элементов в технологии лазерной бесшаблонной литографии | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
