Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34454
Title: Торцевой холловский источник ионов для асситирования осаждения
Authors: Палмера, Д.
Мигель, А.
Диас, Л.
Роселина, А.
Keywords: материалы конференций
торцевой холловский источник
ионно-ассистированое осаждение
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Торцевой холловский источник ионов для асситирования осаждения / Д. Палмера [и др.] // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 164.
Abstract: Актуальной задачей тонкопленочной технологии является формирование качественных функциональных покрытий из диэлектрических и проводящих материалов для оптики и оптоэлектроники. На сегодняшний день представляются перспективными методы формирования пленок, основанные на ионной бомбардировке. Бомбардировка поверхности подложки ионами в процессе роста пленок называется ионно-ассистированым осаждением (ion beam assisted deposition - IBAD), и позволяет в широких пределах управлять свойствами наносимых слоев независимой регулировкой потоков материала и энергетических частиц на подложку.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34454
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Palmera_Tortsevoy.PDF269,09 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.