https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34454| Title: | Торцевой холловский источник ионов для ассистирования осаждения |
| Authors: | Палмера, Д. Мигель, А. Диас, Л. Роселина, А. |
| Keywords: | материалы конференций;торцевой холловский источник;ионно-ассистированое осаждение |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Торцевой холловский источник ионов для ассистировали осаждения / Д. Палмера [и др.] // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 164. |
| Abstract: | Актуальной задачей тонкопленочной технологии является формирование качественных функциональных покрытий из диэлектрических и проводящих материалов для оптики и оптоэлектроники. На сегодняшний день представляются перспективными методы формирования пленок, основанные на ионной бомбардировке. Бомбардировка поверхности подложки ионами в процессе роста пленок называется ионно-ассистированым осаждением (ion beam assisted deposition - IBAD), и позволяет в широких пределах управлять свойствами наносимых слоев независимой регулировкой потоков материала и энергетических частиц на подложку. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34454 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Palmera_Tortsevoy.PDF | 269.09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.