Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34462
Title: Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния
Authors: Сычевич, А. С.
Keywords: материалы конференций
микроактюаторы
нанопористый кремний
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Сычевич, А. С. Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния / А. С. Сычевич // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 169 - 170.
Abstract: Горение нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Исследования показали, что в микросистемах с кремниевым чипом площадью 1,2 см2 может быть получен импульс 170 мН·с за счет применения структуры состоящей из двух кристаллов кремниевых пластин.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34462
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Sychevich_Mikroaktyuatory.PDF417,19 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.