https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34462| Title: | Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния |
| Authors: | Сычевич, А. С. |
| Keywords: | материалы конференций;микроактюаторы;нанопористый кремний |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сычевич, А. С. Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния / А. С. Сычевич // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 169–170. |
| Abstract: | Горение нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Исследования показали, что в микросистемах с кремниевым чипом площадью 1,2 см2 может быть получен импульс 170 мН·с за счет применения структуры состоящей из двух кристаллов кремниевых пластин. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34462 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Sychevich_Mikroaktyuatory.PDF | 417.19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.