Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34465
Title: Протяженный источник ионов для обработки в вакууме
Authors: Занько, А. И.
Keywords: материалы конференций
источника ионов с анодным слоем
ионно-лучевой источник
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Занько, А. И. Протяженный источник ионов для обработки в вакууме / А. И. Занько // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 149.
Abstract: В настоящее время источники ионов широко используются в технике для осуществления различных технологических процессов: очистки и активации поверхности перед нанесением покрытия, размерной обработки поверхности прецизионных деталей, пассивирования поверхности металлов, синтеза алмазоподобных пленок на поверхности твердого тела, либо удаления пленок с этой поверхности.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34465
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zanko_Protyazhenniy.PDF248,53 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.