| Title: | Протяженный источник ионов для обработки в вакууме |
| Authors: | Занько, А. И. |
| Keywords: | материалы конференций;источника ионов с анодным слоем;ионно-лучевой источник |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Занько, А. И. Протяженный источник ионов для обработки в вакууме / А. И. Занько // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 149. |
| Abstract: | В настоящее время источники ионов широко используются в технике для осуществления
различных технологических процессов: очистки и активации поверхности перед нанесением покрытия, размерной обработки поверхности прецизионных деталей, пассивирования поверхности металлов, синтеза алмазоподобных пленок на поверхности твердого тела, либо удаления пленок с этой поверхности. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34465 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
