https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36289| Title: | Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда |
| Authors: | Запорожченко, Ю. В. Аксючиц, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;кремниевые пластины;плазма атмосферного давления |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Запорожченко, Ю. В. Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда / Ю. В. Запорожченко, А. В. Аксючиц // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 227 – 230. |
| Abstract: | Поверхность кремниевой пластины обрабатывалась плазмой атмосферного давления. Обработка в плазме диэлектрического барьерного разряда привела к значительному увеличению адгезии. Адгезия измерялась как коэффициент трения. Зависимость коэффициента трения кремния от режимов обработки изучалась с помощью атомно-силового микроскопа. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36289 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zaporozhchenko_Izmeneniye.pdf | 449.09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.