Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36289
Title: Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда
Authors: Запорожченко, Ю. В.
Аксючиц, А. В.
Keywords: материалы конференций;кремниевые пластины;плазма атмосферного давления
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Запорожченко, Ю. В. Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда / Ю. В. Запорожченко, А. В. Аксючиц // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 227 – 230.
Abstract: Поверхность кремниевой пластины обрабатывалась плазмой атмосферного давления. Обработка в плазме диэлектрического барьерного разряда привела к значительному увеличению адгезии. Адгезия измерялась как коэффициент трения. Зависимость коэффициента трения кремния от режимов обработки изучалась с помощью атомно-силового микроскопа.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36289
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zaporozhchenko_Izmeneniye.pdf449.09 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.