| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Запорожченко, Ю. В. | - |
| dc.contributor.author | Аксючиц, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-09-17T09:09:17Z | - |
| dc.date.available | 2019-09-17T09:09:17Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Запорожченко, Ю. В. Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда / Ю. В. Запорожченко, А. В. Аксючиц // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 227–230. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36289 | - |
| dc.description.abstract | Поверхность кремниевой пластины обрабатывалась плазмой атмосферного давления. Обработка в плазме
диэлектрического барьерного разряда привела к значительному увеличению адгезии. Адгезия измерялась как коэффициент
трения. Зависимость коэффициента трения кремния от режимов обработки изучалась с помощью атомно-силового
микроскопа. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | кремниевые пластины | ru_RU |
| dc.subject | плазма атмосферного давления | ru_RU |
| dc.title | Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
