Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36289
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЗапорожченко, Ю. В.-
dc.contributor.authorАксючиц, А. В.-
dc.date.accessioned2019-09-17T09:09:17Z-
dc.date.available2019-09-17T09:09:17Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationЗапорожченко, Ю. В. Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда / Ю. В. Запорожченко, А. В. Аксючиц // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 227 – 230.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36289-
dc.description.abstractПоверхность кремниевой пластины обрабатывалась плазмой атмосферного давления. Обработка в плазме диэлектрического барьерного разряда привела к значительному увеличению адгезии. Адгезия измерялась как коэффициент трения. Зависимость коэффициента трения кремния от режимов обработки изучалась с помощью атомно-силового микроскопа.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectкремниевые пластиныru_RU
dc.subjectплазма атмосферного давленияru_RU
dc.titleИзменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разрядаru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zaporozhchenko_Izmeneniye.pdf449.09 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.