Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410
Название: Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения
Авторы: Нелаев, В. В.
Стемпицкий, В. Р.
Ключевые слова: учебно-методические пособия
компьютерное моделирование
микроэлектроника
оболочка DECKBUILD
интегральные микросхемы
модуль ATHENA
Дата публикации: 2005
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Нелаев, В. В. Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий. – Минск : БГУИР, 2005. – 138 c. : ил.
Краткий осмотр (реферат): В пособии приведены общие сведения о модуле ATHENA программного комплекса фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом. Описывается порядок работы в модуле ATHENA под управлением интерактивной оболочки DECKBUILD с многочисленными примерами, содержится подробное описание директив для выполнения задания на моделирование вместе с полным их списком.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410
Располагается в коллекциях:Кафедра микро и наноэлектроники

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Nelaev_2005.pdf2,76 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.