https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410| Название: | Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения |
| Авторы: | Нелаев, В. В. Стемпицкий, В. Р. |
| Ключевые слова: | учебно-методические пособия;компьютерное моделирование;микроэлектроника;оболочка DECKBUILD;интегральные микросхемы;модуль ATHENA |
| Дата публикации: | 2005 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Нелаев, В. В. Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий. – Минск : БГУИР, 2005. – 138 c. : ил. |
| Аннотация: | В пособии приведены общие сведения о модуле ATHENA программного комплекса фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом. Описывается порядок работы в модуле ATHENA под управлением интерактивной оболочки DECKBUILD с многочисленными примерами, содержится подробное описание директив для выполнения задания на моделирование вместе с полным их списком. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410 |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Nelaev_2005.pdf | 2.76 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.