| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Сербин, И. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-05-06T09:07:33Z | - |
| dc.date.available | 2021-05-06T09:07:33Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Сербин, И. Н. Оптическая система ГУФ диапазона для инспекционного микроскопа = Optical system DUV range for inspection microscope / И. Н. Сербин // Электронные системы и технологии : сборник материалов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 19-23 апреля 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2021. – С. 256–258. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43499 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрено оптико-механическое устройство для оптических микроскопов для повышение разрешающей способности. An optical-mechanical device for optical microscopes for increasing the resolution is considered. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | оптические микроскопы | ru_RU |
| dc.subject | инспекционные микроскопы | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | optical microscopes | ru_RU |
| dc.subject | inspection microscopes | ru_RU |
| dc.subject | microelectronics | ru_RU |
| dc.title | Оптическая система ГУФ диапазона для инспекционного микроскопа | ru_RU |
| dc.title.alternative | Optical system DUV range for inspection microscope | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 57-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
