https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45353| Title: | Исследование процесса удаления фоторезиста в плазме комбинированного разряда |
| Authors: | Бордусов, С. В. Шинкевич, Ю. С. Мадвейко, С. И. Гусев, А. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;СВЧ-разряды;комбинированные разряды |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Исследование процесса удаления фоторезиста в плазме комбинированного разряда / С. В. Бордусов [и др.] // Технические средства защиты информации : материалы докладов и краткие сообщения VI Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 21-22 мая, 2008 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Ф. Голиков [и др.]. – Минск, 2008. – С. 77–78. |
| Abstract: | В процессах производства элементной базы средств защиты информации все чаще используется СВЧ разряд и его модификации. Одной из разновидностей сверхвысокочастотного разряда является комбинированный разряд, формируемый путем наложения на СВЧ разряд электромагнитного поля низкочастотного или высокочастотного диапазона. При таком способе появляется возможность дополнительного управления энерговкладом в плазменный объем и энергией заряженных плазменных частиц, что изменяет физико-химические процессы в объеме неравновесной плазмы и на границе раздела плазма — твердое тело. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45353 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2008 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bordusov_Issledovaniye.pdf | 182.18 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.