https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45907| Title: | Применение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхем |
| Authors: | Лыньков, Л. М. Жданович, С. В. Петров, Н. П. Богуш, В. А. |
| Keywords: | публикации ученых;сверхпроводниковые интегральные микросхемы;высокотемпературные сверхпроводники |
| Issue Date: | 1996 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Применение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхем / Л. М. Лыньков [и др.] // // Современные технологии гибридных интегральных микросхем включая элементы сверхпроводниковой электроники : IV Международная научно-техническая конференция, Нарочь, 23-27 сентября 1996 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. М. Лыньков. – Нарочь, 1996. – С. 178–181. |
| Abstract: | Анодный и термический Zr02 являются весьма перспективными материалами в технологии микроэлектроники, в частности крио-ИМС. Их применение позволяет создавать воспроизводимые по параметрам сверхпроводниковые микроструктуры, субмикронные элементы, что позволяет решить сложные технологические задачи микроэлектроники и создать качественно новые микроэлектронные структуры. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45907 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lynkov_Primeneniye.pdf | 119.74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.