Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6147
Название: Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум : пособие
Авторы: Достанко, А. П.
Телеш, Е. В.
Холенков, В. Ф.
Вашуров, А. Ю.
Ключевые слова: учебно – методические пособия
лабораторные практикумы
наноэлектроника
микроэлектроника
физико-химические основы
Дата публикации: 2016
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Достанко, А. П. Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум : пособие / А. П. Достанко и др. – Минск : БГУИР, 2016. – 63 с. : ил.
Краткий осмотр (реферат): Включает лабораторные работы по изучению кинетики и механизмов термического окисления кремния и ионного распыления твердых тел, физических процессов в выпрямляющих контактах металл–полупроводник и в плазме тлеющего разряда, механизмов токопереноса и размерного эффекта в тонких металлических пленках. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний студентов, получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским оборудованием.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6147
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6147
ISBN: 978-985-543-156-6
Располагается в коллекциях:Кафедра электронной техники и технологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Dostanko_Fiz.pdf2,19 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.