https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6147| Title: | Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум : пособие |
| Authors: | Достанко, А. П. Телеш, Е. В. Холенков, В. Ф. Вашуров, А. Ю. |
| Keywords: | учебно – методические пособия;лабораторные практикумы;наноэлектроника;микроэлектроника;физико-химические основы |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Физико-химические основы микро- и наноэлектроники. Лабораторный практикум : пособие / А. П. Достанко [и др.]. – Минск : БГУИР, 2016. – 63 с. : ил. |
| Abstract: | Включает лабораторные работы по изучению кинетики и механизмов термического окисления кремния и ионного распыления твердых тел, физических процессов в выпрямляющих контактах металл–полупроводник и в плазме тлеющего разряда, механизмов токопереноса и размерного эффекта в тонких металлических пленках. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний студентов, получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским оборудованием. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6147 |
| ISBN: | 978-985-543-156-6 |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Dostanko_Fiz.pdf | 2.19 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.