https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8772| Title: | Современные тенденции в технологии формирования объемных выводов на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур |
| Authors: | Бранцевич, В. К. Кузьмар, И. И. Кушнер, Л. К. |
| Keywords: | материалы конференций;кремниевые металлы;электрохимически осажденные металлы |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Бранцевич, В. К. Современные тенденции в технологии формирования объемных выводов на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур / В. К. Бранцевич, И. И. Кузьмар, Л. К. Кушнер // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 24–28 марта 2014 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2014. – С. 8–9. |
| Abstract: | Работа носит обзорный характер и посвящена проблеме формирования объемных выводов на кремниевом кристалле на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8772 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2014) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Современные тенденции.PDF | 870.33 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.