Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8772
Title: Современные тенденции в технологии формирования объемных выводов на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур
Authors: Бранцевич, В. К.
Кузьмар, И. И.
Кушнер, Л. К.
Keywords: материалы конференций
кремниевые металлы
электрохимически осажденные металлы
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Бранцевич, В. К. Современные тенденции в технологии формирования объемных выводов на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур / В. К. Бранцевич, И. И. Кузьмар, Л. К. Кушнер // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 24–28 марта 2014 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2014. – С. 8–9.
Abstract: Работа носит обзорный характер и посвящена проблеме формирования объемных выводов на кремниевом кристалле на основе электрохимически осажденного металла для сборки трехмерных микроструктур.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8772
Appears in Collections:Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2014)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Современные тенденции.PDF870,33 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.