Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9227
Title: Ассистирующая ступень магнетронной системы распыления
Authors: Дятчик, А. Ю.
Keywords: материалы конференций;магнетронная система распыления;тонкопленочные слои
Issue Date: 2013
Publisher: БГУИР
Citation: Дятчик, А. Ю. Ассистирующая ступень магнетронной системы распыления / А. Ю. Дятчик // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 263–264.
Abstract: В связи с ростом актуальности получения высококачественных тонкопленочных слоев и развитием отраслей элек- тронного и оптического приборостроения возрастает интерес к получению покрытий с особенными электрофизическими, оптическими и механическими свойствами на различных органических и неорганических материалах.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9227
Appears in Collections:Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Ассистирующия ступень.PDF349.35 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.