https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9227| Title: | Ассистирующая ступень магнетронной системы распыления |
| Authors: | Дятчик, А. Ю. |
| Keywords: | материалы конференций;магнетронная система распыления;тонкопленочные слои |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Дятчик, А. Ю. Ассистирующая ступень магнетронной системы распыления / А. Ю. Дятчик // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 263–264. |
| Abstract: | В связи с ростом актуальности получения высококачественных тонкопленочных слоев и развитием отраслей элек- тронного и оптического приборостроения возрастает интерес к получению покрытий с особенными электрофизическими, оптическими и механическими свойствами на различных органических и неорганических материалах. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9227 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ассистирующия ступень.PDF | 349.35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.