Репозиторий БГУИР: Request a document copy

Request a document copy: Разработка и исследование золь материалов различного состава для формирования керамических пленок, процессов нанесения керамических пленок различного состава методом ВЧ магнетронного распыления. Оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок методом магнетронного распыления, изготовление мишеней : отчет о НИР (заключ.)