Skip navigation

Browsing by Subject индуктивно-связанная плазма

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 2 to 2 of 2 < previous 
Issue DateTitleAuthor(s)
2022Использование лазерной интерферометрии для определения времени окончания плазмохимического травления слоев p-GaN и AlGaN гетероструктуры p-GaN/AlGaN/GaN с двумерным электронным газомЮник, А. Д.; Шидловский, А. Г.