Skip navigation

Browsing by Subject плазмохимическое травление

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 9 to 10 of 10 < previous 
Issue DateTitleAuthor(s)
2020Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремниюЕмельянов, В. В.
2022Формирование функциональных слоев нитрида кремния селективным плазмохимическим травлениемЕмельянов, В. В.