Browsing by Subject быстрый термический отжиг
Showing results 1 to 4 of 4
Issue Date | Title | Author(s) |
2022 | Влияние температуры быстрого термического отжига на электрофизические свойства омического контакта металлизации Ti/Al/Ni к гетероструктуре GaN/AlGaN | Юник, А. Д.; Соловьев, Я. А.; Жигулин, Д. В. |
2020 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
2020 | Влияние временных режимов термообработки на микроструктуру системы Pt-Si | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А. |
2020 | Электронномикроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработке | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А. |