Browsing by Subject микромеханическая обработка
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2016 | Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров | Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Плескачевский, Ю. М.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В. |
2016 | Полупроводниковая двухсенсорная микросистема на наноструктурированной подложке для определения концентрации газов в окружающей среде | Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.; Горох, Г. Г.; Таратын, И. А. |