Browsing by Author Соколов, С. И.
Showing results 1 to 5 of 5
Issue Date | Title | Author(s) |
2021 | Двулучевая лазерная очистка кварцевого сырья | Емельянов, В. А.; Шершнев, Е. Б.; Соколов, С. И. |
2023 | Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем | Соколов, С. И. |
2020 | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники | Достанко, А. П.; Аваков, С. М.; Голосов, Д. А.; Емельянов, В. В.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Никитюк, Ю. В.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Пилипенко, В. А.; Плебанович, В. И.; Солодуха, В. А.; Соколов, С. И.; Телеш, Е. В.; Шершнев, Е. Б. |
2021 | Моделирование температурного поля и расчет механических напряжений при двулучевом лазерном управляемом термораскалывании кварцевого стекла | Емельянов, В. А.; Шершнев, Е. Б.; Соколов, С. И.; Купо, А. Н. |
2022 | Оптимизация параметров двухлучевой лазерной очистки кварцевого сырья | Емельянов, В. А.; Шершнев, Е. Б.; Никитюк, Ю. В.; Соколов, С. И.; Аушев, И. Ю. |