| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Аваков, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Агеев, О. А. | - |
| dc.contributor.author | Батура, М. П. | - |
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Джуплин, В. Н. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Клим, О. В. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | - |
| dc.contributor.author | Ретюхин, Г. Е. | - |
| dc.contributor.author | Русецкий, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Титко, Д. С. | - |
| dc.contributor.author | Томаль, В. С | - |
| dc.contributor.author | Трапашко, Г. А. | - |
| dc.contributor.author | Чередниченко, С. Б | - |
| dc.contributor.author | Школык, Д. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-12-30T09:12:44Z | - |
| dc.date.available | 2016-12-30T09:12:44Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники: монография / А. П. Достанко [и др.]. – Минск : Беларуская навука, 2016. – 251 с. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-08-1993-2 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11099 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Беларуская навука | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.title | Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
