https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11144| Title: | Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках |
| Authors: | Захлебаева, А. И. Реутская, О. Г. |
| Keywords: | публикации ученых;анодный оксид алюминия;наноструктурированные подложки;полупроводниковые химические сенсоры;сенсорные микросистемы |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | ИТМО |
| Citation: | Захлебаева, А. И. Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках / А. И. Захлебаева, О. Г. Реутская // V Всероссийский конгресс молодых ученых : сборник тезисов докладов, Санкт-Петербург, 12–15 апреля 2016 г. – Санкт-Петербург : ИТМО, 2016. – 2 с. |
| Abstract: | Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, а также снизить потребляемую мощность и обеспечить долговременную работоспособность микросистем. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11144 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.