Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Научные публикации
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11145
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГорох, Г. Г.-
dc.contributor.authorЗахлебаева, А. И.-
dc.contributor.authorТкач, А. Н.-
dc.contributor.authorТаратын, И. А.-
dc.contributor.authorХатько, В. В.-
dc.date.accessioned2017-01-04T06:56:02Z-
dc.date.accessioned2017-07-27T11:59:42Z-
dc.date.available2017-01-04T06:56:02Z-
dc.date.available2017-07-27T11:59:42Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationГорох, Г. Г. Газовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембране / Г. Г. Горох и другие // Приборостроение–2016: материалы 9-ой Международной конференции, Минск ( 23–25 ноября, 2016 г.). – Минск : БНТУ, 2016. - С. 294 - 295.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11145-
dc.description.abstractИсследован газовый сенсор с низким энергопотреблением на двухслойной диэлектрической мембране с тонким слоем анодного оксида алюминия. Представлена технология изготовления газового сенсора на наноструктурированной мембране SixNy/Al2O3. Исследованы отклики сенсора к 1 ppm CO при различных температурах нагрева чувствительного слоя. Определен оптимальный режим работы сенсора.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБНТУru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectпористый анодный оксид алюминияru_RU
dc.subjectэлектрохимическое анодированиеru_RU
dc.subjectнаноструктурированные мембраныru_RU
dc.subjectвысокочувствительный газовый сенсорru_RU
dc.subjectмикромощный сенсорru_RU
dc.subjectporous anodic aluminaru_RU
dc.subjectelectrochemical anodic oxidationru_RU
dc.subjectnanostructured membranesru_RU
dc.subjecthighly sensitive gas sensorru_RU
dc.subjectlow power gas sensorru_RU
dc.titleГазовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембранеru_RU
dc.typeArticleru_RU
local.description.annotationLow power gas sensor on the two-layer dielectric membrane with a thin layer of anodic aluminum oxide was developed. The technique of forming of nanostructured membrane SixNy/Al2O3. was represented. The sensor response to the 1 ppm CO at different temperatures heat of sensitive layer was investigated. The optimal operating conditions of sensor were defined.-
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
12093.pdf455.21 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.