| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лазарук, С. К. | - |
| dc.contributor.author | Лешок, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Высоцкий, В. Б. | - |
| dc.contributor.author | Борисенко, В. Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-01-06T10:28:37Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-27T11:59:42Z | - |
| dc.date.available | 2017-01-06T10:28:37Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-27T11:59:42Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Лазарук, С. К. Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния / С. К. Лазарук и другие // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: Сборник трудов Х Международной конференции ( Санкт-Петербург, 4 -7 июля 2016 г. ). - Санкт-Петербург, 2016. - С. 207-208. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11235 | - |
| dc.description.abstract | Разработана и изготовлена экспериментальная структура интегральных оптических межсоединений на кремниевом кристалле, а также исследованы ее характеристики. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | издательство Политехнического университета | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | интегральные оптические межсоединения | ru_RU |
| dc.subject | композиционная пленка алюминия | ru_RU |
| dc.subject | контакт Шоттки | ru_RU |
| dc.title | Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
