| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Дубина, О. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-02-07T14:05:49Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T11:14:26Z | - |
| dc.date.available | 2017-02-07T14:05:49Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T11:14:26Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Дубина, О. Н. Анализ конструкций современного технологического оборудования для обработки полупроводниковых пластин в зоне послесвечения СВЧ-разряда / О. Н. Дубина // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 51-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 13–17 мая 2015 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2015. – С. 24–25. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11693 | - |
| dc.description.abstract | Общепринятая концепция индивидуальной плазменной обработки пластин и непрерывное увеличение их диаметра
обусловливают необходимость разработки неких универсальных подходов построения плазменных реакционных камер и проведения соответствующих технологических плазменных процессов.Травление тонких пленок поликремния, Si3N4, SiO2,
MoSi, Mo, TiSi, Al, полиамида и удаление фоторезиста осуществляется в установках индивидуальной обработки трех
основных типов, различающихся конструктивными особенностями реакторных блоков и компоновкой вакуумных систем в
зависимости от конкретного технологического процесса. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | технологическое оборудование | ru_RU |
| dc.subject | обработка полупроводниковых пластин | ru_RU |
| dc.subject | зона послесвечения СВЧ-разряда | ru_RU |
| dc.title | Анализ конструкций современного технологического оборудования для обработки полупроводниковых пластин в зоне послесвечения СВЧ-разряда | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 51-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2015)
|
