| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Xiubo, Tian | - |
| dc.contributor.author | Окоджи, Д. Э. | - |
| dc.contributor.author | Колос, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-03-30T09:21:50Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-27T11:59:50Z | - |
| dc.date.available | 2017-03-30T09:21:50Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-27T11:59:50Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Ионный источник на основе торцевого холловского ускорителя для предварительной “мягкой” очистки подложек / Д. А. Голосов [и др.] // Проблемы взаимодействия излучения с веществом : материалы IV международной научной конференции, Гомель, 9–11 ноября 2016 г. : в 2 ч. Ч. 2. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2016. – С. 35–39. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12455 | - |
| dc.description.abstract | Проведены исследования разрядных и эмиссионных характеристик ионного источника для “мягкой” ионной очистки. Установлено, что данный источник обеспечивает низкоэнергетичную ионную бомбардировку с энергией ионов от 30 до 270 эВ при плотности ионного тока до 1,6 мА/см2. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГГУ им.Ф.Скорины | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | ионный источник | ru_RU |
| dc.subject | ионная очистка | ru_RU |
| dc.subject | энергия | ru_RU |
| dc.subject | ток | ru_RU |
| dc.subject | ion source | ru_RU |
| dc.subject | ion cleaning | ru_RU |
| dc.subject | energy | ru_RU |
| dc.subject | current | ru_RU |
| dc.title | Ионный источник на основе торцевого холловского ускорителя для предварительной “мягкой” очистки подложек | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | Researches of digit and issue characteristics of an ion source for "soft" ion cleaning are conducted. It is established that this source provides low energy ion bombing with energy of ions from 30 to 270 эВ at firmness of ion current to 1,6 ¼Ç/cm2. | - |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
