| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Хорошко, Л. С. | - |
| dc.contributor.author | Ашариф, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Ореховская, Т. И. | - |
| dc.contributor.author | Меледина, М. В. | - |
| dc.contributor.author | Сокол, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Колосницын, Б. С. | - |
| dc.contributor.author | Гапоненко, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-10-29T08:37:04Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-13T06:18:12Z | - |
| dc.date.available | 2014-10-29T08:37:04Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-13T06:18:12Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах / Л. С. Хорошко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2014. - № 3 (81). - С. 101 - 105. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1326 | - |
| dc.description.abstract | Приведены результаты исследования морфологии микроструктурированных пленок
пористого анодного оксида алюминия, сформированных с применением
электрохимического анодирования, золь-гель синтеза, фотолитографии и химического травления. Для выполнения фотолитографии защитная металлическая маска не использовалась за счет формирования сплошной пленки ксерогеля. Обсуждаются перспективы применения таких структур в планарной оптоэлектронике и фотокатализе. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | пористый анодный оксид алюминия | ru_RU |
| dc.subject | золь-гель | ru_RU |
| dc.subject | фотолитография | ru_RU |
| dc.title | Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах | ru_RU |
| dc.title.alternative | Photolithography of film structures xerogel/porous anodic alumina prepared in various electrolytes | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | №3 (81)
|
