Многослойность плотных анодных оксидов алюминия

Abstract

Приведены результаты исследования закономерностей химического травления плотных анодных оксидов алюминия с одновременной записью величины стационарного электродного потенциала и толщины оксидной пленки. Установлено, что пленка имеет до 6 характерных слоев, отличающихся толщиной и скоростью химического растворения. Предложенная методика является быстрым экспресс-методом исследования характерных слоев по толщине оксидных пленок и влиянию на их параметры исходного состава алюминия, состава электролита при анодировании, режимов анодирования и др., а также установление закономерностей влияния параметров указанных слоев на параметры формируемых плотных оксидов, таких, например, как удельная емкость, токи утечки, пробивные напряжения, диэлектрические потери, частотные свойства.