| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Агейченко, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Матюшков, В. Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-12-02T08:21:29Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-12T11:43:24Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-02T08:21:29Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-12T11:43:24Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Агейченко, А. С. Устройство для определения плоскости лучшего изображения и масштаба изображения проекционного объектива в реальном времени = The device for definition the best image plane and scale of projection lens in real time / А. С. Агейченко, В. Е. Матюшков // Доклады БГУИР. – 2011. – № 2 (56). – С. 96–101. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1830 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены факторы, оказывающие влияние на положение плоскости лучшего изображения проекционных объективов в процессе экспонирования. Описано устройство для определения плоскости лучшего изображения и масштаба изображения проекционного объектива в реальном времени. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | фотолитография | ru_RU |
| dc.subject | проекционный объектив | ru_RU |
| dc.subject | световая нагрузка | ru_RU |
| dc.subject | плоскость лучшего изображения | ru_RU |
| dc.title | Устройство для определения плоскости лучшего изображения и масштаба изображения проекционного объектива в реальном времени | ru_RU |
| dc.title.alternative | The device for definition the best image plane and scale of projection lens in real time | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | №2 (56)
|
