Влияние условий синтеза на электротранспортные свойства сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца

Abstract

Рассмотрено влияние температурной обработки на электротранспортные свойства PbZr1-xTixO3-слоя в многослойной структуре Si/SiO2/Ti/Pt/PbZr1-xTixO3/Pt. Установлены различные механизмы электропереноса заряда. Так, после отжига в течение 0,5 ч при температуре 770 К в инертной среде (Ar), механизмом переноса в PbZr1-xTixO3-слое в интервале температур 280–400 К является туннелирование термически активированных электронов с энергиями выше кулоновского энергетического барьера. В интервале температур 200 – 280 К доминирует перенос заряда путем прыжковой проводимости электронов с переменной длиной прыжка по локализованным состояниям, лежащим в узкой полосе энергий вблизи уровня Ферми. После отжига в течение 0,5 ч при температуре 720 К в окисляющей среде (pO2 = (0,21–2,0)Ч105 Па) установлено, что в интервале температур 200–400 К электроперенос заряда в PbZr1-xTixO3-слое осуществляется также путем прыжковой проводимости с изменяющейся длиной прыжка.