| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Строгова, Н. С. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Цыбульский, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Власукова, Л. А. | - |
| dc.contributor.author | Борисевич, В. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-12-05T12:24:54Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-12T11:45:53Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-05T12:24:54Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-12T11:45:53Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование закономерностей формирования германосиликатного стекла в процессе термической обработки поликристаллических пленок кремния, легированных германием / Н. С. Строгова [и др.] // Доклады БГУИР. - 2011. - № 6 (60). - С. 56 - 61. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2007 | - |
| dc.description.abstract | Исследован процесс формирования и свойств пленок германосиликатного стекла в процессе окисления пленок наноструктурированного поликристаллического кремния, легированного германием. Приведен химический состав пленок ГСС и его фазовые превращения в
результате термического воздействия. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | германосиликатное стекло | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | германий | ru_RU |
| dc.subject | нанокластеры | ru_RU |
| dc.subject | термическая обработка | ru_RU |
| dc.title | Исследование закономерностей формирования германосиликатного стекла в процессе термической обработки поликристаллических пленок кремния, легированных германием | ru_RU |
| dc.title.alternative | Regularities in formation of germanosilicate glass during heat treatment of polycrystalline silicon films doped with germanium | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | №6 (60)
|
