Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2435
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАнуфриев, Л. П.-
dc.contributor.authorДостанко, А. П.-
dc.contributor.authorКасинский, Н. К.-
dc.contributor.authorКовальчук, Н. С.-
dc.contributor.authorКоробко, А. О.-
dc.contributor.authorЛанин, В. Л.-
dc.contributor.authorСоловьев, Я. А.-
dc.contributor.authorТомаль, В. С.-
dc.contributor.authorРусецкий, А. М.-
dc.date.accessioned2014-12-29T13:44:15Z-
dc.date.accessioned2017-07-13T11:06:33Z-
dc.date.available2014-12-29T13:44:15Z-
dc.date.available2017-07-13T11:06:33Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationФизико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности» / Л. П. Ануфриев и др. ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : БГУИР, 2011. – 47 с.ru_RU
dc.identifier.isbn978-985-488-749-4-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2435-
dc.description.abstractЛабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования легированных областей диффузией, химической обработки и плазмохимического травления кремниевых пластин. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров слоев полупроводниковых приборов.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectучебно-методические пособияru_RU
dc.subjectинтегральная электроникаru_RU
dc.subjectпроизводство изделийru_RU
dc.subjectфизико-химические процессыru_RU
dc.titleФизико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности»ru_RU
dc.typeBookru_RU
Appears in Collections:Кафедра электронной техники и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Met_2011.pdf2.02 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.