| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ануфриев, Л. П. | - |
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Касинский, Н. К. | - |
| dc.contributor.author | Ковальчук, Н. С. | - |
| dc.contributor.author | Коробко, А. О. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Томаль, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Русецкий, А. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-12-29T13:44:15Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-13T11:06:33Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-29T13:44:15Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-13T11:06:33Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности» / Л. П. Ануфриев и др. ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : БГУИР, 2011. – 47 с. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-488-749-4 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2435 | - |
| dc.description.abstract | Лабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования легированных областей диффузией, химической обработки и плазмохимического травления кремниевых пластин.
Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров слоев полупроводниковых приборов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | интегральная электроника | ru_RU |
| dc.subject | производство изделий | ru_RU |
| dc.subject | физико-химические процессы | ru_RU |
| dc.title | Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности» | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии
|
